洁净室的定义 :亦称为无尘室或清净室,是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内的温度、洁净度、压力、气流速度、气流分布、噪音振动、照明及静电控制在某一需求范围内,而特别设计的工作室。
不论外在空气条件如何变化,洁净室内均能维持原先所设定的洁净度、温湿度及压力等特性,从而使产品(或手术、试验等)能在一个良好的环境空间中完成。
以下行业的产品和工艺均得益于空气中悬浮污染物的控制:航天、微电子、医药、医疗器械、食品和健康食品洁净室所控管的项目 :除去空气中飘游的微尘粒子。防止微尘粒子产生。控制温度和湿度。调节洁净室内外的压力。排除洁净室内有害气体。
洁净室内应在满足洁净度要求的条件下尽可能节能。 洁净室的标准世界各国对洁净室均有自定标准,但目前采用美国联邦标准209比较普遍。以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定的净室标准作介绍与比较。