高纯水，超纯水是化学纯度极高的水，其中的杂质的含量小于0.1mg/L.目前人们制成的高纯水的纯度已经达到99.999999%,其中杂质含量低于0.01mg/L.将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。
目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ。cm、15MΩ。cm、10MΩ。cm、2MΩ。cm、0.5MΩ。cm,以区分不同水质。反渗透加EDI技术，属当今世界上先进的脱盐技术，在电子、医药等行业水质净化、清洗、水质纯化以及废水处理有着广泛的应用。
电子工业超纯水设备主要用途：电子工业超纯水设备主要用于微电子产品生产用高纯水，半导体、显象管制造业用超纯水，集成电路板生产清洗用超纯水，蓄电池、锂电池、太阳能电池、干电池等生产用纯水，高纯水，超纯水的制备。
例如，在电子工业方面，可以作为线路板清洗用超纯水的处理设备，与其它技术诸如电渗析、离子交换和蒸馏相比，具有能耗低、脱盐率高、除菌能力强和操作简单、维护方便的特点，大大节省了运行、维修成本。
