是指除去了呈离子形式杂质后的纯水，定义为："去离子水完全或不完全的去除离子物质，主要指采用离子交换树脂处理方法。"现在的工艺主要采用RO反渗透膜的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子。
但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。 在半导体行业中，去离子水被称为"超纯水"或是"18兆欧水".1吨/小时超纯水设备 家电表面涂装用反渗透去离子纯水设备概述。
去离子水设备 既是离子交换系统，离子交换系统是通过阴、阳离子交换树脂对水中的各种阴、阳离子进行置换的一种传统水处理工艺，阴、阳离子交换树脂按不同比例进行搭配可组成离子交换阳床系统，离子交换阴床系统及离子交换混床系统。
而混床系统又通常是用在反渗透等水处理工艺之后用来制取超纯水，高纯水的终端工艺，它是用来制备超纯水、高纯水不可替代的手段之一。其出水电导率可低于1uS/cm以下，出水电阻率达到1MΩ。cm以上，根据不同的水质及使用要求，出水电阻率可控制在1~18MΩ。cm之间。